样品初始情况:
材料:聚晶金刚石;尺寸:60mm ;形状:圆片;厚度:膜层0.4-0.7mm;
最终工艺要求:
尽可能少去除厚度,去除划痕,达到镜面 100倍显微镜下检验无划痕(同轴光)
工艺总结:
1、本次样品使用HSM-L设备加工后,100倍显微镜下无划痕,达到了最终工艺要求;
2、由于样品的工艺结果,是由各个工艺参数相互配合,可根据工艺需求做出相应调整,达到更好的 工艺结果,
工艺稳定后,可优化工艺参数:①压力控制;②摆动幅度与偏心距;③磨料浓度。
样品初始情况:
材料:聚晶金刚石;尺寸:60mm ;形状:圆片;厚度:膜层0.4-0.7mm;
最终工艺要求:
尽可能少去除厚度,去除划痕,达到镜面 100倍显微镜下检验无划痕(同轴光)
工艺总结:
1、本次样品使用HSM-L设备加工后,100倍显微镜下无划痕,达到了最终工艺要求;
2、由于样品的工艺结果,是由各个工艺参数相互配合,可根据工艺需求做出相应调整,达到更好的 工艺结果,
工艺稳定后,可优化工艺参数:①压力控制;②摆动幅度与偏心距;③磨料浓度。
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