/ DETAILED PARAMETERS
应用范围：
OWL-100白光干涉仪，能以纳米级精度非接触测量样品表面粗糙度、台阶高度等参数。适合测量半导体晶圆与芯片、MEMS器件、光学元件、精密加工表面以及各种材料，广泛应用于半导体、光学、材料研发及精密制造领域的质量控制和科学研究。
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