/ DETAILED PARAMETERS
主要⽤于在处理薄的和易碎的II-VI及III-V族半导体晶⽚,如硅、砷化镓、磷化铟等,以及处理异形材料⽚的粘接。
可通过触摸屏交互界⾯设置所需的粘接温度和真空要求等⼯艺参数,存储多达100条⼯艺菜单
⾃动化程度⾼,整机操作便捷,运⾏稳定,维护⽅便,可靠性强
显⽰界⾯实时监测温度、压⼒及真空度变化,可以数值和电⼦计量表形式显⽰
设置既定程序⾃动控制完成粘⽚,并在屏幕上显⽰结果
减少昂贵材料在制备过程中的破损,提⾼粘结⼯艺的稳定性
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