近日，合美半导体与睿创微纳正式签署设备采购合同，睿创微纳批量采购我司自研 AP 系列全自动精密研磨抛光机，用于磷化铟、砷化镓化合物衬底产线抛光加工。
AP 系列设备支持 2–8 英寸多规格晶圆加工，柔性气动控压有效降低脆性材料亚表面损伤，搭配智能工艺存储、密闭废气废液处理系统，兼顾研发试样与规模化量产。前期我方技术团队完成多轮专属工艺试样验证，设备各项加工指标满足客户量产标准，顺利达成国产设备替代合作。
后续双方将持续开展新材料抛光工艺联合研发，携手推动光电半导体高端制造装备国产化进程。
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